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龙图腾网获悉湖南科鑫泰电子有限公司申请的专利一种光刻基片加工处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119002192B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411375150.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻基片加工处理设备是由刘文越;戴冕设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻基片加工处理设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻基片加工处理设备，涉及光刻基片技术领域，包括下支承板，所述下支承板的上表面固定安装有上安装板，所述下支承板的上表面中间位置处固定安装有支撑柱，所述支撑柱的上表面固定安装有用于固定光刻基片的固定机构；所述上安装板的上表面位于所述支撑柱的正上方位置处固定安装有升降气缸；通过输气机构和预处理机构的配合，在需要填充氮气时，通过转向电机带动转动套管进行转动，使其和固定座贴合，在不使用时使得转动套管的内部也处于密封状态，减少和外界的接触，在转动套管和固定套管贴合时，通过第一挡块来对其进行限位，在转动套管和固定座贴合时，通过第二挡块来对其进行限位。

本发明授权一种光刻基片加工处理设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻基片加工处理设备，其特征在于，包括下支承板1，所述下支承板1的上表面固定安装有上安装板2，所述下支承板1的上表面中间位置处固定安装有支撑柱5，所述支撑柱5的上表面固定安装有用于固定光刻基片的固定机构； 所述上安装板2的上表面位于所述支撑柱5的正上方位置处固定安装有升降气缸3，所述升降气缸3的下方设置有用于辅助光刻基片稳定的输气机构； 所述下支承板1的上表面左侧设置有用于对光刻基片进行增附剂涂覆的预处理机构； 所述下支承板1的上表面右侧设置有用于维持光刻基片加工温度的导热机构； 所述固定机构包括固定套管8，所述固定套管8固定安装在所述支撑柱5的上表面，且所述固定套管8的内部固定连接有用于固定光刻基片的三爪卡环23； 所述输气机构包括中空升降杆16，所述中空升降杆16的上端和所述升降气缸3下方的伸缩端相连接，且所述中空升降杆16的下方固定连接有升降套筒15，所述升降套筒15的内部开设有气体输送室9，所述中空升降杆16的中间位置处转动连接有转动连接管17，所述转动连接管17的侧面固定连接有波纹连接管18； 所述上安装板2的上表面位于所述升降气缸3的右侧位置处固定安装有氮气输送泵4，所述氮气输送泵4的出气口和所述波纹连接管18相连通，所述氮气输送泵4的进气口固定连通有氮气输送管19； 所述预处理机构包括转向电机11，所述转向电机11上方的输出轴固定连接有连接转轴20，所述连接转轴20的上端固定连接有转动座12，所述转动座12远离所述连接转轴20的一侧固定连接有转动套管13，所述转动套管13的内部顶端中间位置处固定安装有喷淋室21，所述喷淋室21的内部为中空，且所述喷淋室21的内部底端开设有用于出料的喷淋口，所述喷淋室21的后端固定连通有进料管22； 所述预处理机构还包括固定座10，所述固定座10固定安装在所述下支承板1的上表面，且所述固定座10的尺寸和所述转动套管13的尺寸相吻合，所述固定座10的侧面固定安装有第二挡块26，所述固定套管8的侧面安装有第一挡块14； 在所述升降气缸3下方的伸缩端未伸出状态下，所述升降套筒15和所述固定套管8的距离等于所述转动套管13的高度，且所述升降套筒15和所述固定套管8的形状相吻合。

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