先导薄膜材料(广东)有限公司张绍桢获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种硒化锑溅射靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118639194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410770178.8，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种硒化锑溅射靶材及其制备方法是由张绍桢;肖翀;周慧黠设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硒化锑溅射靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于太阳能电池溅射材料技术领域，公开了一种硒化锑溅射靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将硒粒和锑粒混合后放进管式炉中，保护气氛下升温至215～230℃进行煅烧处理，然后升温至650～680℃进行高温烧结，物料随炉冷却，得到硒化锑锭；然后把硒化锑锭破碎后过325～360目不锈钢筛网，得到粒径＜45μm的硒化锑合金粉；将硒化锑合金粉经预压得到硒化锑坯体，在真空条件下升温至505～510℃并加压至35～38T热等静压成型，得到硒化锑溅射靶材。本发明以硒粒和锑粒为原料，通过高温烧结、破碎筛分和热等静压成型等工序，所得硒化锑溅射靶材具有致密度高，纯度高，组分均匀等优点。
本发明授权一种硒化锑溅射靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硒化锑溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤： 1高温烧结：将硒粒和锑粒混合后放进管式炉中，保护气氛下升温至215~230℃进行煅烧处理，然后升温至650~680℃进行高温烧结，物料随炉冷却，得到硒化锑锭； 2破碎筛分：将所得硒化锑锭经破碎后过325~360目不锈钢筛网，得到粒径＜45μm的硒化锑合金粉； 3热等静压：将所得硒化锑合金粉经预压得到硒化锑坯体，然后在真空条件下升温至505~510℃并加压至35~38T热等静压成型，得到硒化锑溅射靶材； 步骤1中所述锑粒和硒粒混合的质量比为1:1.03~1.06，所述升温的速率为3~6℃min；所述煅烧处理的时间为60~180min；所述高温烧结的时间为240~360min； 步骤2中所述破碎在水含量＜10ppm，氧含量＜10ppm的手套箱内进行。
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