先导薄膜材料(广东)有限公司余恒飞获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种银平面靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118531364B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410588953.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种银平面靶材及其制备方法和应用是由余恒飞;黄宇彬;汪建锋;童培云设计研发完成，并于2024-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种银平面靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种银平面靶材及其制备方法和应用，属于靶材技术领域，包括以下步骤：1将银锭置于连铸炉中，将银锭熔化完全后进行连铸，得到银坯；2将银坯进行热处理，得到银板；3将银板进行粗轧制、精轧制；4将轧制后的银板进行热处理，得到银平面靶材；所述粗轧制包括6～8个道次，单道次的变形量为10～15％；所述精轧制包括7～9个道次，单道次的变形量为2～9.9％；所述粗轧制和精轧制的总变形量为71.25～77.50％。本发明将银锭熔化完全后进行连铸、热处理、粗轧制、精轧制、热处理，有效的降低了靶材平均晶粒尺寸，使其内部组织分布均匀，内部无缺陷，所述的方法适用于制备大尺寸的银平面靶材，利用率高，成本低。
本发明授权一种银平面靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种银平面靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将银锭置于连铸炉中，将银锭熔化完全后进行连铸，得到银坯； 2将银坯进行热处理，得到银板； 3将银板进行粗轧制、精轧制； 4将轧制后的银板进行热处理，得到银平面靶材； 所述粗轧制包括6~8个道次，单道次的变形量为10~15%； 所述精轧制包括7~9个道次，单道次的变形量为2~9.9%； 所述粗轧制和精轧制的总变形量为71.25~77.50%； 所述步骤4热处理温度为300~400℃，热处理时间为1~2h。
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