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宁波合盛新材料有限公司杨弥珺获国家专利权

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龙图腾网获悉宁波合盛新材料有限公司申请的专利一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118360668B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410476919.1,技术领域涉及:C30B29/36;该发明授权一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置是由杨弥珺;黄延旺;浩瀚;赵新田;周幼梅;朱凤;章宣设计研发完成,并于2024-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置,其中生长方法包括以下步骤,S1:提供一种籽晶,所述籽晶包括竖直部和设置在所述竖直部下方的倾斜部,所述倾斜部外围形成圆锥面,所述倾斜部的直径向远离所述竖直部的方向逐渐减小;S2:将所述籽晶设置在籽晶托上,所述倾斜部朝向石墨坩埚放置生长原料的一侧;S3:进行碳化硅单晶的生长。本申请的碳化硅单晶生长装置,能够减少碳化硅晶体的相变,提高碳化硅单晶的晶体品质。

本发明授权一种碳化硅单晶的生长方法及生长装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅单晶的生长装置,其特征在于,包括籽晶托、石墨坩埚和面型调节器,所述籽晶托与所述石墨坩埚形成密闭的中空环境,所述籽晶托朝向所述石墨坩埚放置生长原料的一侧适于设置籽晶,所述籽晶托上端设置有面型调节器,所述面型调节器适于调整所述籽晶托的温度; 所述面型调节器的顶部向下凹陷形成凹陷部,所述凹陷部的倾斜面与所述面型调节器的中轴线形成夹角β,82°≤β≤87°; 所述籽晶包括竖直部和设置在所述竖直部下方的倾斜部,所述倾斜部外围形成圆锥面,所述倾斜部的圆锥面与所述倾斜部的中轴线形成夹角α,82°≤α≤87°; 所述夹角α与所述β相等; 还包括设置在所述石墨坩埚外侧的石墨保温毡,所述石墨保温毡包括顶部保温毡和周侧保温毡,所述顶部保温毡设置在所述面型调节器上方,所述顶部保温毡设置有开口; 所述顶部保温毡开口的中轴线、所述凹陷部的中轴线与所述倾斜部的中轴线重合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁波合盛新材料有限公司,其通讯地址为:315300 浙江省宁波市慈溪市周巷镇周西公路1999-9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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