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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫及其制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118061095B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410219811.4，技术领域涉及：B24D11/00；该发明授权一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫及其制备工艺是由李加海;杨惠明;孙传东设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫及其制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫及其制备工艺，属于抛光吸附垫技术领域，包括离型膜、胶粘层和吸附层，所述离型膜设置在胶粘层上，所述胶粘层设置在吸附层上。本发明解决了现有的石英光罩在抛光处理时，其抛光吸附垫的压缩率低下，导致抛光吸附垫易磨损而损坏，降低了抛光吸附垫的使用寿命的问题，本发明通过气孔接口向横向吸附缓冲条内抽气，此时横向吸附缓冲条、纵向吸附缓冲条和定位吸附柱内的气压降低，可提升抛光吸附垫的吸附性，且横向吸附缓冲条和纵向吸附缓冲条可对抛光吸附垫进行缓冲压缩，可提升抛光吸附垫的压缩率，避免抛光吸附垫磨损而损坏，可提升抛光吸附垫的使用寿命。

本发明授权一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫及其制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫，包括离型膜1、胶粘层2和吸附层3，其特征在于，所述离型膜1设置在胶粘层2上，所述胶粘层2设置在吸附层3上，其中，离型膜1、胶粘层2和吸附层3的厚度比为1：1：4； 所述吸附层3包括支撑底垫31和抛光吸附垫32，所述抛光吸附垫32上设置有均匀分布的吸附气孔321，所述抛光吸附垫32设置在支撑底垫31上，所述支撑底垫31连接在胶粘层2上； 所述吸附层3还包括横向吸附缓冲条33和纵向吸附缓冲条34，所述横向吸附缓冲条33并排横向设置在支撑底垫31内，所述纵向吸附缓冲条34并排纵向设置在支撑底垫31内，所述横向吸附缓冲条33和纵向吸附缓冲条34相连通； 所述吸附层3还包括定位吸附柱35，所述定位吸附柱35设置在横向吸附缓冲条33和纵向吸附缓冲条34的交叉连接处，所述定位吸附柱35位于吸附气孔321内，所述定位吸附柱35的端部设置有吸附口，所述横向吸附缓冲条33和纵向吸附缓冲条34均与定位吸附柱35相连通，所述横向吸附缓冲条33上设置有气孔接口4，所述气孔接口4贯穿支撑底垫31。

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