应用材料公司刘家凌获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于减少颗粒产生的气体扩散器安装板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117431529B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311209247.X，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于减少颗粒产生的气体扩散器安装板是由刘家凌;安翔;赵来;周建华;R·L·迪纳设计研发完成，并于2019-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于减少颗粒产生的气体扩散器安装板在说明书摘要公布了：本公开内容的实施方式总体提供用于真空腔室的气体扩散器组件的设备和方法，气体扩散器组件包括安装板，安装板包括中心部；复数个弯曲辐条，从中心部在径向方向中延伸；角板部，耦接于中心部与这些弯曲辐条的每个弯曲辐条之间，这些角板部的每个角板部具有凸弯曲部，设置于轴向方向中；和一个或多个安装孔，耦接于这些弯曲辐条。
本发明授权用于减少颗粒产生的气体扩散器安装板在权利要求书中公布了：1.一种气体扩散器组件，用于真空腔室，所述气体扩散器组件包括： 环形安装板，包括： 中心部； 复数个弯曲辐条，从所述中心部在径向方向中延伸并且在所述弯曲辐条的远端处与弧段对接，其中复数个开口形成在所述环形安装板中，所述复数个开口中的每个开口由所述中心部、所述弧段和所述复数个弯曲辐条中的两个弯曲辐条界定； 角板部，耦接于所述中心部与这些弯曲辐条中的每个弯曲辐条之间，所述角板部具有成角度的平面表面，所述成角度的平面表面设置于轴向方向中；和 一个或多个安装孔，相邻于这些弯曲辐条定位。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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