先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117209267B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311187610.2，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于靶材技术领域，公开了一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法，该高密度高均匀性氧化锌铝靶材，由小粒径氧化锌铝粉末和大粒径氧化锌铝粉末混合得到混合粉体后依次经过模压、冷等静压、脱脂热处理、烧结得到；其中小粒径氧化锌铝粉末占混合粉体质量的30％‑50％，小粒径氧化锌铝粉末的粒径为0.3～0.8μm，大粒径氧化锌铝粉末的粒径为1‑1.5μm，且大粒径氧化锌铝粉末与小粒径氧化锌铝粉末的粒径之差＜0.8μm。本发明采用特定粒径的小粒径氧化锌铝粉末与大粒径氧化锌铝粉末混合来制备氧化锌铝粉末，能够有效提高靶材烧结密度的同时还能够改善靶材的金相组织均匀性和抗弯强度，平衡提高靶材的综合性能。
本发明授权一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材，其特征在于，由小粒径氧化锌铝粉末和大粒径氧化锌铝粉末混合得到混合粉体后依次经过模压、冷等静压、脱脂热处理、烧结得到；其中小粒径氧化锌铝粉末占混合粉体质量的30%-50%，小粒径氧化锌铝粉末的粒径为0.3~0.8μm，大粒径氧化锌铝粉末的粒径为1-1.5μm，且大粒径氧化锌铝粉末与小粒径氧化锌铝粉末的粒径之差＜0.8μm；所述小粒径氧化锌铝粉末由大粒径氧化锌铝粉末经过干法球磨得到。
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