先导薄膜材料(广东)有限公司文崇斌获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种硫化镉靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117185816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311164422.8，技术领域涉及：C04B35/547；该发明授权一种硫化镉靶材及其制备方法是由文崇斌;朱刘;童培云设计研发完成，并于2023-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硫化镉靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于溅射靶材技术领域，公开了一种硫化镉靶材及其制备方法，该硫化镉靶材内含有硫酸镉，所述硫酸镉的质量含量＞0.1且≤0.5；将硫化镉粉末和硫酸镉粉末依次经过混合、装入模具、抽真空、加热、保温、降温得到所述硫化镉靶材；其中在保温的过程中在保温20～50min后进行加压、保压；其中混合采用球磨工艺将硫化镉粉末和硫酸镉粉末混合，具体步骤为：将硫化镉粉末和硫酸镉粉末放入球磨桶内进行干磨混合，球料比为1:1.2～1.5，球磨时间为3～6h。本发明提供了一种硫化镉靶材的制备方法，通过球磨工艺对硫酸镉和硫化镉进行混合，提高硫酸镉在硫化镉靶材中的分布均匀性，从而进一步提高靶材的溅射效率和溅射薄膜的均匀性。
本发明授权一种硫化镉靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硫化镉靶材，其特征在于，所述硫化镉靶材内含有硫酸镉，所述硫酸镉的质量含量＞0.1且≤0.5； 所述硫化镉靶材的制备方法包括如下具体步骤： 步骤1：按硫化镉粉末和硫酸镉粉末质量比为99.89～99.5：0.11～0.5称取硫化镉粉末和硫酸镉粉末并装入球磨桶内进行干磨混合，球料比为1:1.2～1.5，球磨时间为3～6h；所述球磨步骤中，磨球为4种尺寸，直径分别为30、20、10、5mm，重量比为1:1:1:1； 步骤2：将步骤1混合完成后的物料装入模具中，然后放入真空热压炉中； 步骤3：抽真空至炉内真空度≤10Pa，开启加热，以8～12℃min，升温到810～880℃保温2～4h，在保温20~50min后进行加压、保压，加压压力为30～50MPa，保压时间为45～70min； 步骤4：待温度降至室温后脱模得到硫化镉靶材。
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