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龙图腾网获悉成都思越智能装备股份有限公司申请的专利一种晶圆用超声波双面清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117123569B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311190709.8，技术领域涉及：B08B7/02；该发明授权一种晶圆用超声波双面清洗装置是由赵建普;曹乾;张进设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆用超声波双面清洗装置在说明书摘要公布了：一种晶圆用超声波双面清洗装置，其清洗机构的喷头安装板连接在吸气罩和吸气腔之间，驱动件连接吸气腔，气动滑环从驱动件的中心孔穿过，超声波喷头的尾部连接在喷头安装板，超声波喷头的头部处于吸气罩的内部；超声波喷头的尾部和吸气腔的进气孔之间通过软管连通，吸气腔的进气孔和气动滑环的压缩空气进口连通，吸气腔的吸气孔与气动滑环的负压真空出口连通；吸气罩的内部区域通过喷头安装板上的通孔与吸气腔连通；超声波喷头对晶圆容纳间隙内的晶圆对象表面进行清洗，吸气罩覆盖在晶圆容纳间隙内的晶圆对象表面，吸气罩将晶圆对象表面清洗产生的粉尘吸入吸气腔。本发明提高了常规干式超声波清洗头的清洗范围，达到晶圆的清洗精度要求。

本发明授权一种晶圆用超声波双面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆用超声波双面清洗装置，其特征在于，包括上下对称布置的清洗机构1，上下对称布置的所述清洗机构1之间形成晶圆容纳间隙2； 所述清洗机构1包括吸气罩3、喷头安装板4、吸气腔5、驱动件6、气动滑环7和超声波喷头8；所述喷头安装板4连接在所述吸气罩3和所述吸气腔5之间，所述驱动件6连接所述吸气腔5，所述气动滑环7从所述驱动件6的中心孔穿过，所述超声波喷头8的尾部连接在所述喷头安装板4，所述超声波喷头8的头部处于所述吸气罩3的内部； 所述超声波喷头8的尾部和所述吸气腔5的进气孔9之间通过软管10连通，所述吸气腔5的进气孔9和所述气动滑环7的压缩空气进口11连通，所述吸气腔5的吸气孔23与所述气动滑环7的负压真空出口12连通；所述吸气罩3的内部区域通过所述喷头安装板4上的通孔13与所述吸气腔5连通； 所述超声波喷头8对所述晶圆容纳间隙2内的晶圆对象14表面进行清洗，所述吸气罩3覆盖在所述晶圆容纳间隙2内的晶圆对象14表面，所述吸气罩3将所述晶圆对象14表面清洗产生的粉尘吸入所述吸气腔5； 所述超声波喷头8在所述喷头安装板4上设有两列，两列所述超声波喷头8之间错位分布； 第一列所述超声波喷头8和第二列所述超声波喷头8的数量相差一个； 两列所述超声波喷头8在旋转时的轨迹覆盖整个所述晶圆对象14的表面； 所述超声波喷头8包括锁母16、转接杆17、喷头芯18和喷头壳19；所述锁母16连接所述转接杆17，所述转接杆17连接所述喷头壳19，所述喷头芯18处于所述喷头壳19的内部，所述喷头芯18的端部导通所述转接杆17； 所述喷头芯18和所述喷头壳19的内壁之间形成有环状的圆形出气缝20； 所述转接杆17的中心形成有气流主孔21，所述喷头芯18的内部形成有气流分散孔22，所述气流主孔21导通所述气流分散孔22，所述气流分散孔22导通所述圆形出气缝20，所述圆形出气缝20将清洗气体从所述喷头芯18和所述喷头壳19的头部喷向所述晶圆对象14表面。

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