中国科学技术大学张万群获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利化学气相沉积反应装置及X射线衍射原位检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116988043B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310963500.4，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权化学气相沉积反应装置及X射线衍射原位检测装置是由张万群;兰泉设计研发完成，并于2023-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积反应装置及X射线衍射原位检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学气相沉积反应装置及X射线衍射原位检测装置。将下盖的开口朝上设置，在下盖的底部开设通孔，以及在下盖内设置筒体，将筒体的上端设置为封闭端，筒体的下端与通孔连通，筒体与下盖围成的腔体用于装载前驱体；用于装载基体的基体样品池设置于筒体的上端面；垫圈设置于基体样品池的上端面；上盖的下端与下盖相连，上盖的开设透光窗口；密封窗密封设置于上盖内，可在高温条件下，使前驱体挥发后能够附着在基体上形成沉积层，由于上盖开设的透光窗口，因此，可采用X射线衍射对化学气相沉积反应装置内进行化学气相沉积过程中的生成物物相、尺寸、应力、取向及结构等变化进行检测，帮助工作人员建立研究体系的构效关系。
本发明授权化学气相沉积反应装置及X射线衍射原位检测装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积反应装置，其特征在于，包括：上盖、密封窗、垫圈、基体样品池和下盖； 所述下盖开口朝上，所述下盖的底部开设有通孔，所述下盖内设筒体，所述筒体的上端为封闭端，所述筒体的下端与所述通孔连通，所述筒体与所述下盖围成的腔体用于装载前驱体； 所述基体样品池设置于所述筒体的上端面，所述基体样品池用于装载基体； 所述垫圈设置于所述基体样品池的上端面； 所述上盖的下端与所述下盖相连，所述上盖的开设有透光窗口，所述透光窗口用于采用X射线衍射对进行化学气相沉积过程中的生成物进行检测； 所述密封窗密封设置于所述上盖内； 所述密封窗采用石墨薄片制成； 所述基体样品池的上端面开设有凹槽，沿所述凹槽的周向设有多个凸起件。
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