拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司戴佳获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司申请的专利镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116288285B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211491045.4,技术领域涉及:C23C16/54;该发明授权镀膜设备是由戴佳;朱鹤囡;董雪迪;张武;林佳继设计研发完成,并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种镀膜设备,该镀膜设备包括载具运输线、上下料系统、镀膜腔体系统和中转系统,载具运输线用于运输基体载具,上下料系统用于实现基体在基体载具上的装载与卸载,基体镀膜腔体系统用于实现基体的双面镀膜,中转系统与基体镀膜腔体系统连接,中转系统用于将基体载具在载具运输线和基体镀膜腔体系统之间转换。该镀膜设备在一条连贯的生产线内部实现基体的双面镀膜,产品良率较高,设备布局面积较小,厂房使用效率较高。
本发明授权镀膜设备在权利要求书中公布了:1.镀膜设备,其特征在于,包括: 载具运输线,所述载具运输线用于运输基体载具; 上下料系统,所述上下料系统与所述载具运输线连接,且用于实现基体在所述基体载具上的装载与卸载; 基体镀膜腔体系统,所述基体镀膜腔体系统与所述载具运输线连接,所述基体镀膜腔体系统用于实现所述基体的双面镀膜; 中转系统,所述中转系统与所述基体镀膜腔体系统连接,所述中转系统用于将所述基体载具在所述载具运输线和所述基体镀膜腔体系统之间转换; 所述上下料系统包括基体上料系统和基体下料系统;所述基体上料系统与所述载具运输线并列设置,且用于将基体装载到所述基体载具上;所述基体下料系统与所述载具运输线并列设置,且与所述基体上料系统共线设置,所述基体下料系统镀膜完成的所述基体从所述基体载具上拆下; 所述中转系统为两个,其中一种所述中转系统用于接收所述基体上料系统输出的所述基体载具,另一个所述中转系统用于将所述基体载具搬运至所述基体下料系统; 所述上下料系统、所述载具运输线、所述中转系统和所述基体镀膜腔体系统能够形成一个环形的闭环排布。
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