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龙图腾网获悉苏州桔云科技有限公司申请的专利晶圆加工装置及晶圆加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115954301B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310065972.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆加工装置及晶圆加工方法是由洪成都;曾麒文设计研发完成，并于2023-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆加工装置及晶圆加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆加工装置及晶圆加工方法。该晶圆加工装置包括：晶圆固定机构，包括设置于其顶部的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附固定晶圆；密封盖板，其环绕所述晶圆固定机构地设置于所述真空吸盘的下方，用于密封所述晶圆固定机构；多个氮气喷嘴，设置于所述密封盖板上，至少部分所述氮气喷嘴用于朝向所述晶圆的背面喷射氮气；其中，所述多个氮气喷嘴被构造为在所述晶圆的径向上由内向外地喷射氮气；以及控制单元，配置为在加工晶圆时控制所述多个氮气喷嘴实时地喷射氮气。本发明的晶圆加工装置能够很好地减少晶圆背面形成的脏污，且所耗费的氮气和清洗水较少，成本低。

本发明授权晶圆加工装置及晶圆加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工装置，其特征在于，所述晶圆加工装置包括： 晶圆固定机构，包括设置于其顶部的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附固定晶圆； 密封盖板，其环绕所述晶圆固定机构地设置于所述真空吸盘的下方，用于密封所述晶圆固定机构；密封盖板顶部由中心向外侧向下倾斜； 多个氮气喷嘴，设置于所述密封盖板上，至少部分所述氮气喷嘴用于朝向所述晶圆的背面喷射氮气；其中，所述多个氮气喷嘴被构造为在所述晶圆的径向上由内向外地喷射氮气；以及 控制单元，配置为在加工晶圆时控制所述多个氮气喷嘴实时地喷射氮气； 在所述密封盖板的一径向上，设置有至少两个间隔开的氮气喷嘴； 所述氮气喷嘴包括相互连通的竖直流道和倾斜流道，所述倾斜流道的一端与所述竖直流道连接，另一端倾斜向上地延伸以构成喷射口； 其中，所述倾斜流道构造为锥形，在所述倾斜流道的所述一端朝向所述另一端的方向上，所述倾斜流道的横截面积越来越大； 当所述晶圆固定于所述真空吸盘时，在同一径向上的氮气喷嘴中，位于径向最外侧的氮气喷嘴不被所述晶圆覆盖。

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