纳设智能装备(江苏)有限公司陈一帆获国家专利权
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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利一种反应室获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223433573U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423022459.X,技术领域涉及:C30B25/12;该实用新型一种反应室是由陈一帆;黄帅帅;经军辉;肖蕴章;陈炳安;钟国仿设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应室在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种反应室,包括管体、载物台、驱动组件和传动件,管体用于形成反应室的反应腔,载物台转动设置于反应腔内,驱动组件设置于反应腔外,并通过传动件与载物台驱动连接,其中,管体的侧壁上设置有连通反应腔内部和反应腔外部的传动通道,以使得传动件能够贯穿管体的侧壁,且传动通道上设置有密封结构,用以保证反应腔的密闭性;使用上述反应室进行碳化硅外延生长时,载物台能够在驱动组件的驱动下转动,以保证反应均匀,且整个生长过程中,无需在反应腔内通入其他气体进而能够保证产品的稳定性。
本实用新型一种反应室在权利要求书中公布了:1.一种反应室,其特征在于,包括: 管体,用于形成所述反应室的反应腔; 载物台,转动设置于所述反应腔内; 与所述载物台传动连接的第一驱动组件,所述第一驱动组件设置于所述反应腔的外部,并用于驱动所述载物台转动; 传动件,一端与所述第一驱动组件传动连接,另一端与所述载物台固定连接,以实现所述第一驱动组件与所述载物台的传动连接; 其中,所述管体的侧壁上设置有连通所述反应腔内部和所述反应腔外部的传动通道,以使得所述传动件能够贯穿所述管体的侧壁,且所述传动通道上设置有用于封闭所述反应腔的密封结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人纳设智能装备(江苏)有限公司,其通讯地址为:226300 江苏省南通市通州区金新街道双福路126号半导体光电产业园N2栋第1、4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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