东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司叶萍获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223433531U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422903668.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构是由叶萍;雷雨;陈海峰;张思齐;刘芳;李新博设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构，该在线可调磁钢结构包括：壳体、磁铁组件、调节机构和多个壳盖；壳体位于其两端之间的第一壳壁设有多个开口，且沿壳体的长度方向分布；磁铁组件设置于壳体内，且沿其长度方向预设有多个调节位，并与第一壳壁的多个开口一一对应分布；所述调节机构包括多个调节组件，多个调节组件一一安装于壳体第一壳壁的多个开口内，且用于一一带动磁铁组件的多个调节位沿第一方向运动；第一方向为磁铁组件的法线方向；多个壳盖一一密封安装于第一壳壁的多个开口外。本方案可实现磁钢的在线调节，也就可使磁钢随时可调，不需要破除真空，大大节省了调试时间，提高效率，节约成本。
本实用新型一种磁控溅射镀膜设备及其在线可调磁钢结构在权利要求书中公布了：1.一种在线可调磁钢结构，应用于磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括：壳体1、磁铁组件、调节机构和多个壳盖2； 所述壳体1位于其两端之间的第一壳壁1.1设有多个开口，且沿所述壳体1的长度方向分布； 所述磁铁组件设置于所述壳体1内，且沿其长度方向预设有多个调节位，并与所述第一壳壁1.1的多个开口一一对应分布； 所述调节机构包括多个调节组件，多个所述调节组件一一安装于所述壳体1第一壳壁1.1的多个开口内，且用于一一带动所述磁铁组件的多个调节位沿第一方向运动；其中，所述第一方向为所述磁铁组件的法线方向； 多个所述壳盖2一一密封安装于所述第一壳壁1.1的多个开口外。
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