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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利一种石英基板光滑表面超声波定量清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119098439B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411533432.9，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种石英基板光滑表面超声波定量清洗工艺是由李加海;高伟东;曹荣府设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石英基板光滑表面超声波定量清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石英基板光滑表面超声波定量清洗工艺，涉及石英基板清洗技术领域，为了解决石英基板清洗流程不便捷以及清洗效果不佳的问题。本发明通过在中频段分析中，通过精细的溶液配比和逐步加入的方式，优化了清洗液的组成，提高了清洗效率，融合清洗方案结合了低频段和中频段的优点，先进行初步清洗以去除大部分污垢，再进行精细清洗以深入清除微小缝隙中的残留物，实现了高效的清洗效果，通过严格的成品检测，可以在生产过程中及时发现并处理不合格品，避免其流入后续工序或市场，降低生产成本和质量损失，根据对比差值重新制定清洗方案，确保清洗效果的最大化，可以显著提高清洗的准确性和效率，同时减少因清洗不当造成的基板损伤。

本发明授权一种石英基板光滑表面超声波定量清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种石英基板光滑表面超声波定量清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤： S1：材料选择：石英基板进行超声波定量清洗之前，先将石英材料进行选择，选择完成后将石英基板进行检测，检测完成后得到待清洗石英基板； S2：清洗方案设计：根据待清洗石英基板进行石英基板的特征分析，根据确认的特性进行超声波定量清洗方案的制定，制定完成后的得到标准清洗方案； S3：清洗设备检测：将标准清洗方案中涉及的设备进行确认，将每个设备进行功能检测，功能检测均合格后进行石英基板的清洗准备； S4：清洗实施：根据标准清洗方案将待清洗石英基板进行清洗，并将待清洗石英基板的清洗过程进行实时记录，实时记录后得到清洗过程数据； S5：石英基板检测：将超声波定量清洗完成的石英基板进行清洗后的检测，并将检测结果标注为石英基板检测数据； S6：检测数据调整和评估：将石英基板检测数据进行分析，根据分析结果进行清洗调整，并将分析结果进行评估，最终将清洗调整数据和评估数据传输至显示终端进行显示； 针对S2中根据待清洗石英基板进行石英基板的特征分析，根据确认的特性进行超声波定量清洗方案的制定，包括： 根据待清洗石英基板中石英基板的检测结果，将检测结果进行特征分析； 特征分析之前先将石英基板上涂有的氧化硅小球尺寸进行确认； 将石英基板上涂有的氧化硅小球的尺寸为1μm-3μm的石英基板标注为低频段分析； 将石英基板上涂有的氧化硅小球的尺寸为0.3μm-1μm的石英基板标注为中频段分析； 低频段分析和中频段分析的石英基板包括物理特性分析、化学特性分析和声学特性分析； 其中，物理特性分析为表面形貌和粘附力；化学特性分析为污染物类型和清洗剂选择；声学性分析为声波传播和空化效应。

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