山东大学王荣堃获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种上下双超声变频协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119017568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411410658.X，技术领域涉及：B28D5/00；该发明授权一种上下双超声变频协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法是由王荣堃;张建飞;陈秀芳;徐现刚;张百涛;陈秋;姚勇平;车林林;李碧雪设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种上下双超声变频协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种上下双超声协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法，包括如下步骤：采用激光在碳化硅晶体的设定深度处形成改质层，将碳化硅晶体置于低频超声振动平台上；向水槽中加水至设定深度，放下高频超声振动盘，使其浸入水中，且不接触碳化硅晶体；同时开启高频超声振动盘和低频超声振动平台，对碳化硅晶体进行剥片；剥片过程中，高频超声振动盘和低频超声振动平台的振动频率逐步降低。
本发明授权一种上下双超声变频协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法在权利要求书中公布了：1.一种上下双超声协同的碳化硅晶体剥片装置，其特征在于：包括水槽以及设置于水槽内部的高频超声振动盘和低频超声振动台，高频超声振动盘平行设置于低频超声振动台的上方，两者之间围成盛放待剥片晶体的空间，且两者之间的间距大于待剥片晶体的高度；高频超声振动盘的振动频率大于低频超声振动台的振动频率； 同一剥片周期内，高频超声振动盘的振动频率不变，低频超声振动台振动频率逐渐升高； 所述水槽用于盛放水，水槽的高度大于高频超声振动盘的下表面的高度； 剥片过程中，高频超声振动盘的振动频率为45-55KHz；高频超声振动盘的高频超声换能器的功率线性递减，0-30s内，由100-300W递减为0W； 剥片过程中，低频超声振动平台的振动频率调节程序为：0-20s，振动频率由18-20KHz变为22-24KHz；20-25s，振动频率由22-24KHz变为25-27KHz；25-30s，振动频率由25-27KHz变为28-32KHz； 剥片过程中，低频超声振动平台的低频超声换能器的功率递减，0-30s内，由100-300W递减为0W。
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