厦门大学解荣军获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118851108B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410900386.5,技术领域涉及:C01B21/068;该发明授权一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法是由解荣军;李思维设计研发完成,并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法在说明书摘要公布了:一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法,涉及高纯导热氮化硅粉体的制备。以液态聚碳硅烷为原料,在其中加入引发剂后进行常温雾化,将雾化液滴进行原位交联、高温氨化脱碳反应和高温热解无机化,再经过惰性气氛高温灭活和高温晶化,获得结晶度高、纯度高、一次粒径小的Si3N4纳米粉体。该粉体具有优异的导热性能,可用于制备新一代高功率芯片的氮化硅散热基板。工艺简单、产物纯净,可设计性强,陶瓷产率高,成本低,具有工程化应用的价值。
本发明授权一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法在权利要求书中公布了:1.一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法,其特征在于包括以下步骤: 1在液态聚碳硅烷中加入引发剂,得到液态聚碳硅烷混合溶液;所述液态聚碳硅烷为超支化聚合物,其侧链中含有活性基团用于自交联;液态聚碳硅烷的粘度通过分子量进行调控,为保证雾化效果,液态聚碳硅烷的数均分子量Mn为400~1500; 2利用雾化器将液态聚碳硅烷混合溶液进行常温雾化,得到液态聚碳硅烷雾滴; 3将液态聚碳硅烷雾滴在惰性气氛下进行原位自交联,得到交联粉体; 4将交联粉体在氨气气氛中高温脱碳氨化,得到硅氮烷纳米粉体; 5将硅氮烷纳米粉体继续在氨气中进行高温热解,获得高活性的非晶态Si3N4纳米粉体; 6将高活性的非晶态Si3N4纳米粉体在惰性气氛中进行高温灭活热处理,得到稳定的非晶态Si3N4纳米粉体; 7将稳定的非晶态Si3N4纳米粉体在惰性气氛中进行高温晶化处理,得到高纯的晶态Si3N4纳米粉体。
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