买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118192464B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410342460.6，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法是由钟竞辉;黎斌设计研发完成，并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法，该方法针对组合设备加工多品种晶圆的情况，通过智能优化算法对晶圆待加工序列做出智能决策，然后通过端到端调度方式得到该加工序列的调度结果，最后对调度结果进行反向传播调整，得到最终调度。通过智能决策，有效减少晶圆加工中竞争使用腔室的情况，缩短总加工时间。本发明能够很好地扩展各种复杂约束，且其调度结果可以覆盖从开始加工到结束加工整个过程；同时本发明能确保多品种晶圆的调度符合驻留时间限制的同时不影响晶圆的加工完成时间，这极大地提高了晶圆加工的质量。

本发明授权一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法在权利要求书中公布了：1.一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法，其特征在于，包括如下步骤： 1获取调度任务信息，根据所述调度任务信息，确定待加工晶圆品种类型及加工数量，并初始化组合设备参数信息； 所述调度任务信息包括每种晶圆加工路线γ、每种晶圆加工数量η以及总数量N； 2根据所述调度任务信息和组合设备参数，结合智能优化算法，根据晶圆品种类型和加工数量进行编码演化，获取冲突占用时间最小的晶圆加工序列； 需要智能优化算法对待加工晶圆序列进行编码演化，其中每种晶圆类型通过Wk表示，k∈{1,2,3,…}，对于每种晶圆类型Wk，其总数量为ηk，满足∑Wk＝ηk，其编码X表示为：X＝[W1,W1,W1,…,W3,W3,W3,…,Wk,Wk,Wk]，对应编码长度即为N，变异的实现是将某个位置晶圆类型编码变异为另一种晶圆类型编码，变异为另一种目标晶圆类型编码后，需要将原目标晶圆类型编码中其中一个变异至变异晶圆类型的原类型编码，以此保持各个品种晶圆总数量不变，在演化过程中评估根据前、后晶圆类型p、q对应加工路线γ是否争用加工模块进行评估，令γp,i表示p种类型的晶圆第i个访问的加工模块，γq,j表示q种类型的晶圆第j个访问的加工模块，ξγp,i,γq,j为用于判断两个晶圆访问的加工模块是否是同一个的函数项，ψγp,i表示权重大小，n表示这批订单中第n个待加工的晶圆，其中评估函数fitnessX具体表示为： 令np表示种群数量，演化种群中各个个体X根据fitnessX评估选择最优个体并在迭代指定条件后，得到最优加工序列Xbest为： 3对所述晶圆加工序列进行调度操作，获取时间序列结果； 4调整所述时间序列结果，获取满足晶圆时间驻留约束的调度结果； 5根据所述调度结果，通过所述组合设备，按照调度任务中的订单顺序，完成调度任务。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华南理工大学，其通讯地址为：511458 广东省广州市南沙区环市大道南路25号华工大广州产研院；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。