北京师范大学廖斌获国家专利权
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龙图腾网获悉北京师范大学申请的专利一种柔性高熵合金涂层及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116855888B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310915367.5,技术领域涉及:C23C14/14;该发明授权一种柔性高熵合金涂层及其制备方法和应用是由廖斌;欧阳晓平;欧阳潇;陈琳;吴杰;吴嘉锟设计研发完成,并于2023-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种柔性高熵合金涂层及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种柔性高熵合金涂层及其制备方法和应用,属于高熵合金技术领域。本发明通过磁过滤阴极真空弧沉积,改变真空室的空间布局以及电势分布,提高等离子体密度,使高熵合金中元素成分可调及含量可调,制备的高熵涂层具备良好摩擦学、腐蚀学及抗氧化性能;磁过滤后沉积粒子的离化率接近为100%,没有大颗粒,形成的薄膜致密、平整光滑,抗腐蚀性能好,且与机体的结合良好;能够制备多种元素薄膜;能够控制膜厚在纳米量级得到纳米多层膜;结合对一元金属涂层、二元金属涂层、四元金属涂层和高熵涂层的设计,避免了传统技术制备的高熵涂层内应力大,很难实现柔性的问题。
本发明授权一种柔性高熵合金涂层及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种柔性高熵合金涂层的制备方法,其特征在于,具体为以下步骤: 在一元金属涂层的表面进行磁过滤阴极真空弧沉积,依次形成二元金属涂层、四元金属涂层和高熵涂层,所述高熵涂层中元素种类不低于5种,每种元素的原子含量独立地为8~30%; 所述二元金属涂层为Cu-Ag金属层或Ni-Au金属层; 所述四元金属涂层为Cu-Ag-Mo-Y金属层或Ni-Au-Cr-Al金属层; 沉积所述高熵涂层时磁过滤阴极真空弧沉积的负压为10~50kV,占空比为1~4%。
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