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龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种回水装置及磁控溅射设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116837335B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310741065.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种回水装置及磁控溅射设备是由李细柳;朱正尧设计研发完成，并于2023-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种回水装置及磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种回水装置及及磁控溅射设备；回水装置包括回水管，以及位于回水管两端的第一连接端和第二连接端；回水管包括有进水孔和水管回水孔，进水孔贯穿回水管、第一连接端和第二连接端；第一连接端包括有第一外板和第一内板，第一外板和第一内板之间具有第一回水腔，第一外板的边沿设置有多个第一回水孔；第二连接端包括有第二外板和第二内板，第二外板和第二内板之间具有第二回水腔，第二外板上设置有第二回水孔；水流回流时依次经过第一回水孔、第一回水腔、水管回水孔、第二回水腔和第二回水孔流出。由于提高了水在密封壳体内的高度，使得水能够布满整个密封壳体，避免有空气残留在密封壳体内，从而提高对溅射阴极的降温效果。

本发明授权一种回水装置及磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种回水装置，其特征在于，包括回水管，以及位于所述回水管两端的第一连接端和第二连接端； 所述回水管包括有进水孔和水管回水孔，进水孔贯穿所述回水管、第一连接端和第二连接端；进水孔用于连接进水管； 所述第一连接端包括有第一外板和第一内板，所述第一外板和第一内板之间具有第一回水腔，所述第一外板的边沿设置有多个第一回水孔；所述第一外板与其连接的密封壳体适配，所述第一外板卡设在所述密封壳体的端部内，所述第一外板与所述密封壳体密封连接；至少一个所述第一回水孔邻近所述密封壳体内壁的顶部，能使水在所述密封壳体内的高度达到所述密封壳体的顶部，使水布满整个所述密封壳体内； 所述第二连接端包括有第二外板和第二内板，所述第二外板和第二内板之间具有第二回水腔，所述第二外板上设置有第二回水孔；所述第二回水孔用于连接排水管； 所述第一回水孔、第一回水腔、水管回水孔、第二回水腔与第二回水孔贯通；水流由所述进水孔依次经过所述第二连接端、回水管和第一连接端进入，水流回流时依次经过所述第一回水孔、第一回水腔、水管回水孔、第二回水腔和第二回水孔流出。

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