买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种碳化硅单晶片的镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116676586B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310781428.3，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种碳化硅单晶片的镀膜装置是由叶林征;吕博洋;祝锡晶;李婧;王泽晓设计研发完成，并于2023-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅单晶片的镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明涉及单晶片技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶片的镀膜装置，包括筒体，筒体的外侧设有循环控制组件，循环控制组件与外部的气体储存装置和气体回收装置连通，筒体的内侧壁对称的设有备料组件和气体支撑组件；本发明整体结构简单巧妙，通过循环控制组件可以对筒体内部的气体进行回收，降低了镀膜工作中的成本，通过备料组件可实现在同一高度位置对多个碳化硅单晶片进行逐一放置，有利于降低了工人的劳动强度，通过气体支撑组件可以避免碳化硅晶片与石墨支架直接接触，保证碳化硅晶片的镀膜效果；具有较好的应用前景和保护价值，非常适用于碳化硅晶片镀膜时使用。

本发明授权一种碳化硅单晶片的镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅单晶片的镀膜装置，其特征在于：包括筒体2，筒体2内设置有石墨处理腔，筒体2的底部设有与之密封固定连通的第一输出管6，筒体2的侧壁设有与之密封固定连通的第三输入管16，第一输出管6与第三输入管16之间设有循环控制组件，循环控制组件与外部的气体储存装置和气体回收装置连通，筒体2的内侧壁对称地设有备料组件，筒体2的内部与第三输入管16之间设有气体支撑组件；通过循环控制组件能够将气体储存装置内部的气体输入筒体2的内部，也能够将筒体2内部的气体输入气体回收装置内部，还能够使筒体2内部的气体通过第一输出管6和第三输入管16进行内部循环，备料组件能够在同一高度位置对多个碳化硅单晶片进行逐一放置，气体支撑组件能够对碳化硅单晶片进行悬浮支撑； 所述的备料组件包括长条槽17，长条槽17对称地开设在筒体2的内侧壁中，长条槽17的内部靠近其上下两端的位置转动连接有转轴18，转轴18采用转轴电机驱动，转轴18的外侧设有与之固定连接的转轮19，转轴电机驱动转轴18能够带动转轮19转动，位于同一长条槽17内部的上下两个转轮19的外侧配合安装有传动链20，传动链20的外表面设有若干与之固定连接且均匀分布的承接块21； 所述的气体支撑组件包括环形空腔22，环形空腔22开设于筒体2的侧壁内部，环形空腔22与第三输入管16的端部密封固定连通，环形空腔22与筒体2的内侧面之间开设有若干层环形分布的滑槽23，每一层滑槽23之间的间距与传动链20外表面的承接块21之间的间距相等，滑槽23内部设有与之密封滑动连接的挡块24，挡块24的材料采用石墨材料制作，挡块24的两侧面开设有贯穿其上表面进气通道25，滑槽23的侧壁对应挡块24两侧面的进气通道25开设有U形通道26，挡块24的外端与滑槽23的外端之间设有复位弹簧27。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中北大学，其通讯地址为：030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。