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龙图腾网获悉芯三代半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种碳化硅外延设备的连锁控制系统及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116224896B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310159326.8，技术领域涉及：G05B19/05；该发明授权一种碳化硅外延设备的连锁控制系统及控制方法是由向阳;蒲勇;施建新;刘中良;叶成勇设计研发完成，并于2023-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅外延设备的连锁控制系统及控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种碳化硅外延设备的连锁控制系统及控制方法。该系统包括PLC控制模块、硬件连锁装置、上位机及传感器，该PLC控制模块包括连锁处理模块，其连接输出映射模块及信号输出模块，该上位机具有连锁处理模块，其连接逻辑处理模块及信号输出模块，该PLC控制模块通过Ethernet或者其他实时总线电性连接上位机；该系统通过在上位机、PLC控制模块中分别增加匹配对应的连锁处理模块，该连锁处理模块的连锁逻辑和硬件连锁装置中连锁处理模块的连锁逻辑一致，这样当硬件连锁装置失效时连锁系统仍能作用，最大程度的提高外延设备的安全性，可有效避免硬件连锁装置失效时面临安全隐患。

本发明授权一种碳化硅外延设备的连锁控制系统及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延设备的连锁控制系统，其特征在于，包括： PLC控制模块、硬件连锁装置、上位机及传感器， 所述传感器用于采样现场的信息并反馈至所述硬件连锁装置及所述PLC控制模块， 所述上位机连接所述PLC控制模块，其透过所述PLC控制模块对所述传感器采样信号状态的采集， 所述PLC控制模块具有： 第一连锁处理模块，其连接第一输出映射模块及第一信号输出模块，以获得所述第一输出映射模块的信息并将结果输出至所述第一信号输出模块； 所述上位机具有： 第二连锁处理模块，其连接逻辑处理模块及第二信号输出模块，以获得所述逻辑处理模块的信息并将结果输出至所述第二信号输出模块， 所述硬件连锁装置电性连接所述PLC控制模块； 所述硬件连锁装置包括：第三信号输入模块、第三连锁处理模块及第三信号输出模块， 所述第三连锁处理模块连接第三信号输入模块及第三信号输出模块，以获得所述第三信号输入模块的信息并将结果输出至所述第三信号输出模块； 所述第一连锁处理模块及第二连锁处理模块的连锁逻辑与所述第三连锁处理模块的连锁逻辑相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯三代半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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