上饶中昱新材料科技有限公司徐伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上饶中昱新材料科技有限公司申请的专利一种在立式CVD炉中制备筒状热场材料的设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116200729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310323826.0,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权一种在立式CVD炉中制备筒状热场材料的设备及方法是由徐伟;杨小刚;万鹏远设计研发完成,并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在立式CVD炉中制备筒状热场材料的设备及方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种在立式CVD炉中制备筒状热场材料的设备及方法,包括多料柱高层数的CVD气相沉积炉,CVD气相沉积炉包括料柱、向料柱通入碳源气体的进气装置以及向料柱提供反应热场的热场装置,料柱包括内限气装置和外限气装置,外模或保温筒作为外限气装置,内层埚帮或外导流筒作为内限气装置,内层埚帮或外导流筒由外层埚帮套装,在内层埚帮或外导流筒与外层埚帮之间、外层埚帮与外模或保温筒之间均形成气流通道,外层埚帮位于双气流通道中,内层埚帮或外导流筒位于单气流通道中。上述设备通过简化工装及大幅减少工装数量形成单通道定向气流快速沉积,能有效避免高温高压大流量快速沉积工装积碳后拆卸困难、清理困难和清理后工装损坏率较高等问题。
本发明授权一种在立式CVD炉中制备筒状热场材料的设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种在立式CVD炉中制备筒状热场材料的设备,包括多料柱高层数的CVD气相沉积炉,所述CVD气相沉积炉包括料柱、向所述料柱通入碳源气体的进气装置以及向所述料柱提供反应热场的热场装置,其特征在于,所述料柱包括内限气装置和外限气装置,外模或保温筒作为所述外限气装置,内层埚帮或外导流筒作为所述内限气装置,所述内层埚帮或外导流筒由外层埚帮套装,在所述内层埚帮或外导流筒与所述外层埚帮之间、所述外层埚帮与所述外模或保温筒之间均形成气流通道,所述外层埚帮位于双气流通道中,沉积沿两侧向中心进行,所述内层埚帮或外导流筒位于单气流通道中,沉积沿内层产品外表面向内表面进行。
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