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龙图腾网获悉株式会社岛津制作所申请的专利阴极发光分光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115938897B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210942314.8，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权阴极发光分光装置是由三田村茂宏设计研发完成，并于2022-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本阴极发光分光装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种阴极发光分光装置。阴极发光分光装置100具备电子枪10、反射镜20、标准具元件30、检测器40以及控制装置50。标准具元件30包括第一半反镜和第二半反镜。第二半反镜设置在与第一半反镜相向的位置。第一半反镜使通过反射镜20会聚后的阴极发光CL2的一部分反射并使一部分透过。第二半反镜使透过了第一半反镜的阴极发光的一部分反射并使一部分透过。第一半反镜和第二半反镜使第一半反镜与第二半反镜之间的阴极发光发生干涉，从而使特定波长的阴极发光CL3从第二半反镜透过。检测器40对透过了第二半反镜的阴极发光CL3的强度进行检测。

本发明授权阴极发光分光装置在权利要求书中公布了：1.一种阴极发光分光装置，具备： 电子枪，其对试样照射电子束； 聚光机构，其使通过向所述试样照射所述电子束而从所述试样放射的阴极发光会聚； 分光元件，其构成为能够对通过所述聚光机构会聚后的阴极发光进行分光； 检测器，其检测通过所述分光元件进行分光后的阴极发光的强度； 分光晶体，其构成为能够使通过所述聚光机构会聚后的阴极发光中的特定波长的阴极发光反射； 切换机构，其将所述聚光机构的聚光目的地切换为所述分光晶体或所述分光元件；以及 控制装置，其从所述检测器接收检测结果，来控制所述阴极发光分光装置， 其中，所述分光元件包括第一半反镜以及设置在与所述第一半反镜相向的位置的第二半反镜， 所述第一半反镜使通过所述聚光机构会聚后的阴极发光的一部分反射，并使通过所述聚光机构会聚后的阴极发光的一部分透过， 所述第二半反镜使透过了所述第一半反镜的阴极发光的一部分反射，并使透过了所述第一半反镜的阴极发光的一部分透过， 所述第一半反镜和所述第二半反镜使所述第一半反镜与所述第二半反镜之间的阴极发光发生干涉，从而使特定波长的阴极发光从所述第二半反镜透过， 所述检测器对透过了所述第二半反镜的阴极发光的强度进行检测。

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