武汉新芯集成电路制造有限公司吴子祺获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉新芯集成电路制造有限公司申请的专利一种平行度测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115854930B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211415632.5,技术领域涉及:G01B11/27;该发明授权一种平行度测量装置是由吴子祺;周云鹏设计研发完成,并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平行度测量装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种平行度测量装置,包括:光源组件、光路组件以及成像组件;其中,光路组件连接光源组件,以接收光源组件发出的初始光信号,并对初始光信号进行处理,产生分别出射到至少两个待测对象的至少两束光出射信号;以及接收至少两个待测对象基于光出射信号而分别产生的光反射信号,并对光反射信号分别进行处理,产生对应的至少两束光反馈信号;成像组件连接光路组件,以接收至少两束光反馈信号,并基于至少两束光反馈信号进行成像;其中,所成的图像包含有对应至少两束光反馈信号中的标识信息的标识信息图像,以用来表征至少两个待测对象的平行度。从而使得该装置能够实时检测待测对象的平行度,提高待测对象的键合效果。
本发明授权一种平行度测量装置在权利要求书中公布了:1.一种平行度测量装置,其特征在于,包括: 光源组件,用于产生带有标识信息的初始光信号; 光路组件,连接所述光源组件,以接收所述初始光信号,并对所述初始光信号进行处理以将所述初始光信号的部分分离成第一光分离信号,另一部分分离成第二光分离信号,并基于所述第一光分离信号和所述第二光分离信号产生分别出射到至少两个待测对象的至少两束光出射信号;接收所述至少两个待测对象基于所述光出射信号而分别产生的光反射信号,并对所述光反射信号分别进行处理,产生对应的至少两束光反馈信号;其中,所述至少两束光出射信号分别带有所述标识信息,所述至少两束光反馈信号分别带有所述标识信息; 成像组件,连接所述光路组件,以接收所述至少两束光反馈信号,并基于所述至少两束光反馈信号进行成像;其中,所成的图像包含有对应所述至少两束光反馈信号中的所述标识信息的标识信息图像,以用来表征所述至少两个待测对象的平行度。
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