昂图创新有限公司M·梅亨代尔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉昂图创新有限公司申请的专利使用声学计量表征图案化结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115667907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180037553.2，技术领域涉及：G01N29/12；该发明授权使用声学计量表征图案化结构是由M·梅亨代尔;M·科特兰斯基;P·穆昆德汗;R·梅尔设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用声学计量表征图案化结构在说明书摘要公布了：用于诸如通过表征样本的图案化特征或结构来检测或表征样本的系统和方法。在一个方面，本技术涉及一种用于表征样本的图案化结构的方法。该方法包括将泵浦光束引导到样本的表面上的第一位置以在样本中诱导表面声波，以及将探测光束引导到样本上的第二位置，其中当探测光束从样本的表面反射时，探测光束受到表面声波的影响。该方法还包括检测经反射的探测光束，分析检测到的经反射的探测光束以识别经反射的探测光束中的频率模态，以及基于所识别的频率模态，确定样本中的图案化特征的宽度或间距中的至少一者。
本发明授权使用声学计量表征图案化结构在权利要求书中公布了：1.一种用于表征样本的图案化结构的方法，所述方法包括： 将多个泵浦光束和相关联的探测光束引导为入射在所述样本的表面上，其中泵浦光束和相关联的探测光束被控制为在距彼此的不同距离处入射在所述样本的所述表面上，其中每个泵浦光束在所述样本中诱导表面声波，并且当每个探测光束从所述样本的所述表面反射时，每个探测光束受到由相关联的泵浦光束诱导的表面声波的影响； 检测经反射的探测光束； 分析所检测到的经反射的探测光束以识别所述经反射的探测光束中作为所述探测光束和相关联的泵浦光束之间的所述不同距离的函数的频率模态；以及 基于所识别的频率模态，确定所述样本中的图案化特征的宽度或间距中的至少一者。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昂图创新有限公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励