盛华基材(天津)科技有限公司王淑梅获国家专利权
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龙图腾网获悉盛华基材(天津)科技有限公司申请的专利升降旋转组合运动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115394705B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211069926.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权升降旋转组合运动装置是由王淑梅;刘翠;蒋嘉设计研发完成，并于2022-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本升降旋转组合运动装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种升降旋转组合运动装置，包括基座、中空旋转摆台、滚珠花键副、气缸和浮动结构；所述中空旋转摆台固定于所述基座的上部，所述滚珠花键副的上部安装在所述中空旋转摆台内，滚珠花键副的下部与所述浮动结构连接，所述浮动结构通过提升板与所述气缸的活塞杆连接，所述气缸固定在所述基座的侧部。本发明安装简单易于维护，有效减少了需要人工调节的环节。
本发明授权升降旋转组合运动装置在权利要求书中公布了：1.一种升降旋转组合运动装置，其特征在于：包括基座、中空旋转摆台、滚珠花键副、气缸和浮动结构；所述中空旋转摆台固定于所述基座的上部，所述滚珠花键副的上部安装在所述中空旋转摆台内，滚珠花键副的下部与所述浮动结构连接，所述浮动结构通过提升板与所述气缸的活塞杆连接，所述气缸固定在所述基座的侧部； 所述浮动结构包括浮动接头、嵌套和锁套，所述嵌套套在滚珠花键副的下部，浮动接头套装在嵌套外，所述锁套固定在滚珠花键副的下部，限定嵌套和浮动接头的轴向运动； 所述滚珠花键副的内部为中空结构； 所述基座由上基座、下基座和支撑柱构成，所述上基座和下基座之间通过四根所述支撑柱连接在一起，所述中空旋转摆台安装在所述上基座上； 浮动接头用于修正滚珠花键副中花键轴做直线运动产生的偏移； 嵌套采用非金属材质，起到润滑的作用。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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