浜松光子学株式会社川合敏光获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利晶圆获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115291384B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211107728.5，技术领域涉及：G02B26/00；该发明授权晶圆是由川合敏光;柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;大山泰生;藏本有未设计研发完成，并于2018-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆在说明书摘要公布了：本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
本发明授权晶圆在权利要求书中公布了：1.一种晶圆，其特征在于， 具备： 基板层，其具有互相相对的第1表面及第2表面； 第1镜层，其具有在所述第1表面二维配置的多个第1镜部；及 第2镜层，其具有在所述第1镜层上二维配置的多个第2镜部， 在有效区域中，通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙，而构成互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部， 在沿所述基板层的外缘且包围所述有效区域的虚设区域中，通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部， 在所述有效区域和所述虚设区域的边界部分，在所述基板层的相反侧开口的槽沿所述边界部分延伸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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