株式会社尼康前田荣裕获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利控制装置、控制方法以及程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244650B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019351.5，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权控制装置、控制方法以及程序是由前田荣裕;下田敏正;三石创;森博史;高畑贵匠;吉桥正博;塩见隆;前原义弘设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制装置、控制方法以及程序在说明书摘要公布了：控制对利用基板贴合装置相互贴合的两个基板间供给的气体的供给条件的控制装置基于针对基板、在贴合基板前所贴合的其他基板以及基板贴合装置中的至少一个测量出的测量结果来控制供给条件。
本发明授权控制装置、控制方法以及程序在权利要求书中公布了：1.一种控制装置，控制朝向利用基板贴合装置相互贴合的两个基板之间供给的气体的供给条件，其中， 所述两个基板通过在中心形成接触区域后扩大所述接触区域而相互贴合， 基于针对所述两个基板中的至少一个基板中的外周部的厚度的形态、所述两个基板之间的所述接触区域的扩大的形态、在所述两个基板之间产生的空隙的形态、以及所述两个基板的结合的形态中的至少一个测量出的测量结果来控制所述供给条件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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