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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底搬送装置及衬底搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115116889B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210149683.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底搬送装置及衬底搬送方法是由桒原丈二设计研发完成，并于2022-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底搬送装置及衬底搬送方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。本发明的衬底搬送装置具备构成为能够保持衬底的手、设置在手上的多个反射型光检测器、局部位置算出部、及衬底位置判定部。多个反射型光检测器朝配置在手上的衬底的外周部分别出射光，且由线状的光通过面分别接受从衬底反射的光，输出表示受光量的信号。局部位置算出部基于多个反射型光检测器的输出信号，分别算出手上的衬底的外周端部的多个部分的位置。衬底位置判定部基于算出的衬底的多个部分的位置，判定衬底相对于手的位置。

本发明授权衬底搬送装置及衬底搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底搬送装置，搬送衬底，且具备： 保持部，构成为能够保持衬底； 多个反射型光检测器，具有线状的受光面且设置在所述保持部，朝配置在所述保持部上的衬底的外周部分别出射光，且由所述受光面分别接受从衬底反射的光，输出表示受光量的信号； 局部位置算出部，基于所述多个反射型光检测器的输出信号，对配置在所述保持部上的衬底分别算出所述保持部上的衬底的外周端部的多个部分的位置； 位置判定部，基于由所述局部位置算出部算出的衬底的所述多个部分的位置，判定衬底相对于所述保持部的位置；及 受光量测定器，设置在所述保持部，朝位于比衬底的外周部更内侧的内侧部分出射第1光量的光，且接收由衬底反射的光，输出表示受光量的信号；及 光量位置信息产生部；且 在俯视时各反射型光检测器的一部分与配置在所述保持部上的衬底的外周部重合的状态下，整个所述受光量测定器与衬底重合； 所述光量位置信息产生部 基于所述第1光量及所述受光量测定器的输出信号算出衬底的反射率； 基于所算出的反射率及表示所述保持部上的所述多个反射型光检测器的设计位置的检测器信息，产生表示所述多个反射型光检测器接受的受光量、与所述保持部上的衬底的所述多个部分的位置之间的关系的光量位置信息； 所述局部位置算出部是除了所述多个反射型光检测器的输出信号外，还基于由所述光量位置信息产生部产生的所述光量位置信息，分别算出所述保持部上的衬底的所述多个部分的位置。

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