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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975170B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210136701.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置是由泽岛隼;山口贵大设计研发完成，并于2022-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供一种能将处理单元的构造共通化的衬底处理装置。在衬底处理装置1中，第1处理单元12A配置在搬送空间12A的右方。第1处理单元21A1具备第1保持部25A。第2处理单元21B1配置在搬送空间12A的左方。第2处理单元21B1具备第2保持部25B。第1保持部25A具有俯视下位于比第1处理单元21A1的中心24A更后方的中心26A。第2保持部25B具有俯视下位于比第2处理单元21B1的中心24B更前方的中心26B。第2处理单元21B1的前端22B配置在比第1处理单元21A1的前端22A更后方，且配置在比第1处理单元21A1的后端23A更前方。第1液体存储部31配置在搬送空间12A的左方，与第2处理单元21B1的前方相邻。

本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 传载部；及 处理块，配置在所述传载部的后方，连接于所述传载部；且 所述处理块具备： 搬送空间，于前后方向延伸； 搬送机构，设置于所述搬送空间，构成为能于所述前后方向平行移动，并搬送衬底； 第1处理单元，配置在所述搬送空间的第1侧方，处理衬底； 第2处理单元，配置在所述搬送空间的第2侧方，处理衬底；及 第1液体贮存部，贮存待分配到所述第1处理单元及所述第2处理单元的处理液；且 所述第1处理单元具备： 第1保持部，保持衬底；及 第1液体供给部，对保持于所述第1保持部的衬底供给处理液；且 所述第2处理单元具备： 第2保持部，保持衬底；及 第2液体供给部，对保持于所述第2保持部的衬底供给处理液；且 所述搬送机构将衬底搬送到所述第1保持部与所述第2保持部； 所述第1保持部具有俯视下位于比所述第1处理单元的中心更后方的中心； 所述第2保持部具有俯视下位于比所述第2处理单元的中心更前方的中心； 所述第2处理单元的前端配置在比所述第1处理单元的前端更后方，且配置在比所述第1处理单元的后端更前方； 所述第1液体贮存部配置在所述搬送空间的所述第2侧方，且与所述第2处理单元的前方相邻。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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