北京航空航天大学李成获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114813048B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210385650.7,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统及测量方法是由李成;万震;刘洋设计研发完成,并于2022-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统及测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统,包括:光纤端面反射率测试子系统,通过改变两个光纤端面之间的腔长距离,采集多组干涉光谱并计算对应腔长;基于双光束干涉公式拟合多组干涉光谱并解算光纤端面的实测反射率;将实测反射率与光谱仪直接测得的光纤端面标准反射率对比,通过多项式拟合获得反射率补偿系数‑腔长的关系式;石墨烯薄膜反射率测试子系统,通过改变对准的单模光纤与光学薄膜之间的距离,采集多组干涉光谱,基于双光束干涉公式拟合干涉光谱,从而解算光学薄膜的实测反射率;及修正子系统,基于反射率补偿系数的表达式对光学薄膜的实测反射率进行修正,获得光学薄膜的修正反射率。还公开了对应的测量方法。
本发明授权一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于光学干涉的光学薄膜反射率测量系统,其特征在于,包括: 光纤端面反射率测试子系统、光学薄膜反射率测试子系统以及修正子系统,其中: 所述光纤端面反射率测试子系统用于获得反射率补偿系数-腔长的关系式,包括:进行光纤的反射率数据采集,通过改变两个光纤端面之间的腔长距离,采集多组干涉光谱并计算对应腔长;基于双光束干涉公式拟合所述多组干涉光谱并解算所述光纤端面的实测反射率;将所述实测反射率与光谱仪直接测得的光纤端面标准反射率进行对比,通过多项式拟合获得反射率补偿系数-腔长的关系式; 所述光学薄膜反射率测试子系统用于通过改变对准的单模光纤与光学薄膜之间的距离,利用所述光纤端面反射率测试子系统采集的多组干涉光谱,基于双光束干涉公式拟合干涉光谱,从而解算所述光学薄膜的实测反射率; 所述修正子系统基于所述反射率补偿系数的表达式对所述光学薄膜的实测反射率进行修正,从而获得光学薄膜的修正反射率; 其中: 所述光纤端面反射率测试子系统包括入射单模光纤1、插芯2、插芯匹配套管3、环氧树脂胶4、反射单模光纤5、光谱仪6、宽带光源7、光环形器8以及三维光纤微动平台;其中,所述入射单模光纤1具有入射单模光纤端面11,所述反射单模光纤5具有反射单模光纤端面51;所述插芯2为的一端为抛光端面,为氧化锆插芯;所述插芯匹配套管3的底面为C型,材质为氧化锆、SiO或玻璃,所述宽带光源7用于提供光输入信号,所述光谱仪6用于采集入射单模光纤1和反射单模光纤5的干涉光谱,所述光环形器8用于光信号的传输,通过改变入射单模光纤端面11与反射单模光纤端面51之间的距离,调节法布里珀罗干涉腔的腔长,并对入射单模光纤1和反射单模光纤5的干涉光谱进行数据处理,得到腔长和待测的反射单模光纤5的反射单模光纤端面51的反射率以及反射率补偿系数-腔长的关系式; 所述光学薄膜反射率测试子系统包括与所述光纤端面反射率测试子系统共用的入射单模光纤1、插芯2、插芯匹配套管3、环氧树脂胶4、光谱仪6、宽带光源7、光环形器8以及三维光纤微动平台,还包括光学薄膜9以及电镜铜网10;其中所述光学薄膜9覆盖在所述电镜铜网10上;所述宽带光源7提供光输入信号,所述光谱仪6采集所述入射单模光纤1和所述光学薄膜9的干涉光谱,所述光环形器8用于光信号的传输,所述入射单模光纤1具有入射单模光纤端面11,通过三维光纤微动平台调节所述入射单模光纤端面11与光学薄膜9之间的距离,改变入射单模光纤端面11与光学薄膜9之间的距离,调节法布里珀罗干涉腔的腔长,并对入射单模光纤端面11与光学薄膜9的干涉光谱进行数据处理,得到腔长与光学薄膜的反射率,经反射率补偿系数修正后,得到光学薄膜的修正反射率。
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