中微半导体设备(上海)股份有限公司黄国民获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011597601.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置是由黄国民;郭二飞;赵函一;吴狄;倪图强设计研发完成，并于2020-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于等离子体处理装置的静电吸盘，该静电吸盘包括：多个区域，所述多个区域中的第一区域包括朝向所述静电吸盘的中心突出的突出部；第一通气孔，所述第一通气孔设置在所述突出部中。
本发明授权静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体处理装置的静电吸盘，所述静电吸盘包括： 密封带，所述密封带将所述静电吸盘分成多个区域，所述多个区域中的第一区域包括所述静电吸盘的外侧圆环部分以及朝向所述静电吸盘的中心突出的突出部； 第一通气孔，所述第一通气孔设置在所述突出部中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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