日本电信电话株式会社尾崎常祐获国家专利权
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龙图腾网获悉日本电信电话株式会社申请的专利半导体Mach-Zehnder光调制器及IQ调制器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114365034B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980100316.9,技术领域涉及:G02F1/025;该发明授权半导体Mach-Zehnder光调制器及IQ调制器是由尾崎常祐;小木曾义弘;桥詰泰彰设计研发完成,并于2019-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体Mach-Zehnder光调制器及IQ调制器在说明书摘要公布了:一种半导体Mach‑Zehnder光调制器包括:输入侧引出线20‑23;相位调制电极线24‑27;以及电极32‑35,将通过相位调制电极线24‑27传播的调制信号分别施加到波导16‑19。半导体Mach‑Zehnder光调制器还包括:导电层,形成在衬底与波导16‑19之间;多个第一布线层70,连接到导电层;以及第二布线层71,连接电极焊盘55和多个第一布线层70。
本发明授权半导体Mach-Zehnder光调制器及IQ调制器在权利要求书中公布了:1.一种IQ调制器,包括: 两个半导体Mach-Zehnder光调制器,所述两个半导体Mach-Zehnder光调制器中的每一个包括: 光波导,形成在半绝缘半导体衬底上; 输入侧引出线,形成在所述衬底上的至少一层的介电层上,调制信号被输入到所述输入侧引出线的一端; 相位调制电极线,沿所述光波导形成在所述介电层上,并且具有与所述输入侧引出线的另一端连接的一端; 电极,向所述光波导施加通过所述相位调制电极线传播的调制信号; 导电层,形成在所述衬底与所述光波导之间; 多个第一布线层,在所述光波导的延伸方向上断续地形成以与所述光波导交叉,并且连接到所述导电层; 第二布线层,形成为将用于向所述导电层施加电压的电极焊盘与所述多个第一布线层相连接;以及 输出侧引出线,形成在所述介电层上,并且具有与所述相位调制电极线的另一端连接的一端,其中, 所述光波导包括:两个第一臂波导和第二臂波导, 所述输入侧引出线包括:第一输入侧引出线,调制信号被输入到所述第一输入侧引出线的一端;以及第二输入侧引出线,形成在与所述第一输入侧引出线相邻的介电层上,与所述调制信号互补的信号被输入到所述第二输入侧引出线的一端, 所述相位调制电极线包括:两个第一相位调制电极线和第二相位调制电极线,沿所述第一臂波导和所述第二臂波导形成在所述介电层上,并且具有分别与所述第一输入侧引出线和所述第二输入侧引出线的另一端连接的一端, 所述输出侧引出线包括:两个第一输出侧引出线和第二输出侧引出线,具有分别与所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制电极线的另一端连接的一端, 所述电极包括:两个第一电极和第二电极,将通过所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制电极线传播的调制信号分别施加到所述第一臂波导和所述第二臂波导,并且 所述两个半导体Mach-Zehnder光调制器中的每一个还包括: 第一地线,在所述光波导的延伸方向上形成在所述第一输入侧引出线、所述第一相位调制电极线和所述第一输出侧引出线外侧的介电层上;以及 第二地线,在所述光波导的延伸方向上形成在所述第二输入侧引出线、所述第二相位调制电极线和所述第二输出侧引出线外侧的介电层上, 其中,所述IQ调制器还包括: 输入波导,形成在所述衬底上;以及 分支滤波器,形成在所述衬底上,用于将通过所述输入波导传播的光分离到两个系统以用于输入到所述两个半导体Mach-Zehnder光调制器,其中, 在所述两个半导体Mach-Zehnder光调制器中,接收I调制信号作为输入的第一半导体Mach-Zehnder光调制器和接收Q调制信号作为输入的第二半导体Mach-Zehnder光调制器布置为使得它们的光波导彼此平行地定位, 所述第一半导体Mach-Zehnder光调制器的第二地线和与所述第二地线相邻的所述第二半导体Mach-Zehnder光调制器的第一地线一体地形成为所述两个半导体Mach-Zehnder光调制器公共的地线,并且 在所述第二布线层中,在所述光波导的延伸方向上布置的部分布置在公共地线的中心线下方, 其中,多个布线层各自形成为从所述第一半导体Mach-Zehnder光调制器的第一地线下方的位置到所述第二半导体Mach-Zehnder光调制器的第二地线下方的位置,并且从所述第二布线层到与所述第一半导体Mach-Zehnder光调制器靠近的一端的距离等于从所述第二布线层到与所述第二半导体Mach-Zehnder光调制器靠近的一端的距离。
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