长江存储科技有限责任公司罗艳杰获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利静电吸附装置和晶圆吸附方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114141682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111356477.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸附装置和晶圆吸附方法是由罗艳杰;董智超;陈倩男;孟颖;胡淼龙设计研发完成，并于2021-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸附装置和晶圆吸附方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种静电吸附装置和晶圆吸附方法。该静电吸附装置包括：卡盘；电压源；至少一个光源；至少一个传感器，用于接收源光束或者源光束的反射光束，并将源光束或反射光束的光信号转化为电信号；以及电压调节模块，与至少一个传感器相连接以接收电信号，与电压源相连接以提供调节信号，调节信号用于调节吸附电压。其中，电压调节模块根据电信号判断至少一个传感器是否接收到光束，在至少一个传感器未接收到光束的情形下，重复调节吸附电压，直至至少一个传感器接收到光束。本发明的静电吸附装置重复调整卡盘的吸附电压，因而无需根据晶圆翘曲度计算吸附电压，可以降低系统复杂度并且提高吸附电压调节的响应速度和准确度。
本发明授权静电吸附装置和晶圆吸附方法在权利要求书中公布了：1.一种静电吸附装置，包括： 卡盘，用于静电吸附晶圆； 电压源，用于向所述卡盘提供吸附电压以产生吸附力； 至少一个光源，用于发射源光束； 至少一个传感器，用于接收所述源光束或者所述源光束的反射光束，并将所述源光束或所述反射光束的光信号转化为电信号；以及 电压调节模块，与所述至少一个传感器相连接以接收所述电信号，与所述电压源相连接以提供调节信号，所述调节信号用于调节所述吸附电压， 其中，所述电压调节模块根据所述电信号判断所述至少一个传感器是否接收到光束，在所述至少一个传感器未接收到光束的情形下，表征晶圆发生翘曲，所述电压调节模块重复调节所述吸附电压，每次调节时将所述吸附电压提高预定值，直至所述至少一个传感器接收到光束。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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