松下知识产权经营株式会社辻泽孝文获国家专利权
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龙图腾网获悉松下知识产权经营株式会社申请的专利基板保持装置以及基板保持方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121754B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110803744.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板保持装置以及基板保持方法是由辻泽孝文设计研发完成，并于2021-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持装置以及基板保持方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板保持装置以及基板保持方法，提供能够抑制基板的变形的基板保持装置等。基板保持装置100具备：基板保持部例如第1基板保持部60，设置有用于真空吸附基板3的吸附孔；真空配管110，与吸附孔例如第1吸附孔66连接；和控制部2a，通过控制真空配管110内的压力来控制经由该吸附孔的吸附力。控制部2a在基于与是否能够通过移动部64向搬运目的地搬运基板3相关的信息的获取结果而判定为不能搬运基板3的情况、以及保持在该基板保持部的基板3的吸附时间达到了给定时间的情况中的至少一种情况下，使经由该吸附孔的吸附力降低。
本发明授权基板保持装置以及基板保持方法在权利要求书中公布了：1.一种基板保持装置，具备： 基板保持部，设置有用于真空吸附基板的吸附孔； 真空配管，与所述吸附孔连接；和 控制部，通过控制所述真空配管内的压力来控制经由所述吸附孔的吸附力， 所述控制部在基于与是否能够通过移动部向搬运目的地交接所述基板相关的信息的获取结果而判定为不能交接所述基板的情况、以及保持在所述基板保持部的所述基板的吸附时间达到了给定时间的情况中的至少一种情况下，使所述吸附力降低， 所述基板保持部通过真空吸附具备可挠性的所述基板来进行保持，并且通过使所述吸附力降低来抑制由真空吸附引起的所述基板的变形。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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