佳能株式会社本间将人获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利曝光装置和用于制造物品的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114114846B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110971979.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置和用于制造物品的方法是由本间将人设计研发完成，并于2021-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置和用于制造物品的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及曝光装置和用于制造物品的方法。根据本发明的用于通过使用来自光源的曝光光对基板进行曝光以将形成在原件上的图案转印到基板的曝光装置包括：投影光学系统，被配置为将已经经过原件的曝光光引导到基板；测量单元，被配置为通过使测量光入射在基板的基板表面上并接收被基板表面反射的测量光来测量基板在垂直于基板表面的第一方向上的位置；以及行进方向设置部件，被配置为设置第一气体的行进方向，以便从第一气体供应机构朝向投影光学系统和基板之间的第一空间供应第一气体，其中，第一空间不同于测量光经过的第二空间。
本发明授权曝光装置和用于制造物品的方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置用于对基板进行曝光，所述曝光装置包括： 投影光学系统，被配置为将曝光光投影到所述基板； 测量单元，被配置为通过使测量光倾斜入射在所述基板的待暴露的表面上并接收被所述表面反射的测量光来测量所述基板在垂直于所述表面的第一方向上的位置；以及 第一气体供应机构，包括第一气体供应端口，用于朝向所述投影光学系统和所述测量光之间的第一空间供应第一气体，所述第一空间不同于所述测量光经过的第二空间， 其中，所述第一气体供应端口在包括所述第一方向和所述测量光的光路的第二截面中的形状包括三角形形状。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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