辛耘企业股份有限公司馮傳彰获国家专利权
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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113707571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010526521.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆清洗装置是由馮傳彰设计研发完成，并于2020-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆清洗装置，用于清洗载具上的晶圆，晶圆清洗装置包含水槽、吊架、夹具、开闭机构、旋转机构、升降机构及至少一个冲洗喷嘴；吊架的至少一部分悬设在水槽上方；夹具设置在吊架上并悬设在水槽上方，夹具包含用于承载载具的遮罩及用于将载具压制于遮罩的压盖，遮罩开设有供晶圆露出的通口，通口向下朝向水槽配置；开闭机构连接在遮罩及压盖之间以相对移动遮罩及压盖而开启或闭合夹具；旋转机构连动夹具而能够驱动夹具水平旋转；升降机构连动夹具而能够驱动夹具升降；冲洗喷嘴设置在水槽内且向上朝向通口配置。
本发明授权晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，用于清洗载具上的晶圆，所述载具包含环框以及张紧设置在所述环框的胶膜，且所述晶圆贴附在所述胶膜上，所述晶圆清洗装置包含： 水槽； 吊架，所述吊架的至少一部分悬设在所述水槽的上方； 夹具，设置在所述吊架上并悬设在所述水槽的上方，所述夹具包含用于承载所述载具的遮罩及用于将所述载具压制于所述遮罩的压盖，所述遮罩开设有供所述晶圆露出的通口，所述通口向下朝向所述水槽配置，所述压盖具有压制平面，且所述压制平面朝向所述遮罩配置； 开闭机构，连接在所述遮罩及所述压盖之间以相对移动所述遮罩及所述压盖而开启或闭合所述夹具； 旋转机构，连动所述夹具而能够驱动所述夹具水平旋转； 升降机构，连动所述夹具而能够驱动所述夹具升降；及 至少一个冲洗喷嘴，设置在所述水槽内且向上朝向所述通口配置。
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