细美事有限公司郑昌富获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利裸片拾取模块和包括其的裸片接合装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112447575B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010875355.0,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权裸片拾取模块和包括其的裸片接合装置是由郑昌富;朴锺成;金正燮;朴荣建;崔大锡;郑相勳;李敏球;崔义选;李康山;闵大浩;石承大设计研发完成,并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本裸片拾取模块和包括其的裸片接合装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种裸片拾取模块和包括其裸片接合装置。裸片拾取模块包括:用于支承晶圆的晶圆台,晶圆包括附着在切割带上的裸片;裸片分离器,布置在切割带的下方并且将待拾取的裸片与切割带分离;非接触式拾取器,用于以非接触方式拾取裸片,使得不与裸片的前表面接触;竖直驱动单元,沿竖直方向移动非接触式拾取器以拾取裸片;以及翻转驱动单元,用于翻转非接触式拾取器,以翻转由非接触式拾取器拾取的裸片。
本发明授权裸片拾取模块和包括其的裸片接合装置在权利要求书中公布了:1.一种裸片拾取模块,包括: 晶圆台,用于支承晶圆,所述晶圆包括附着在切割带上的裸片; 裸片分离器,布置在所述切割带的下方并且将待拾取的裸片与所述切割带分离; 非接触式拾取器,用于以非接触方式拾取所述裸片,使得不与所述裸片的前表面接触; 竖直驱动单元,沿竖直方向移动所述非接触式拾取器以拾取所述裸片;以及 翻转驱动单元,用于翻转所述非接触式拾取器,以翻转由所述非接触式拾取器拾取的裸片, 其中,所述非接触式拾取器当被所述翻转驱动单元翻转时保持以非接触方式拾取所述裸片,从而不接触所述裸片的所述前表面。
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