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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利载板升降装置和硅片处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112234021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011186445.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权载板升降装置和硅片处理设备是由左国军;梁建军设计研发完成，并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本载板升降装置和硅片处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种载板升降装置和硅片处理设备，载板升降装置包括：安装座；第一驱动机构，设置于安装座上，第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，第一驱动机构驱动基座相对安装座运动；顶升部，与基座滑动相连接；第二驱动机构，与第一驱动机构相连接，第二驱动机构随同基座同步运动；第二驱动机构上设置有推动部，第二驱动机构驱动推动部推动顶升部相对基座运动。通过将第二驱动机构与第一驱动机构相连接，优化了第一驱动机构和第二驱动机构之间的结构关系，使第二驱动机构可以随同基座的升降同步升降，以实现协同工作。进而实现提升载板升降装置工作效率，降低应用该载板升降装置的生产线的成本预算，提升气密可靠性的技术效果。

本发明授权载板升降装置和硅片处理设备在权利要求书中公布了：1.一种载板升降装置，其特征在于，包括： 安装座； 第一驱动机构，设置于所述安装座上，所述第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，所述第一驱动机构驱动所述基座相对所述安装座运动； 顶升部，与所述基座滑动相连接； 第二驱动机构，与所述第一驱动机构相连接，所述第二驱动机构随同所述基座同步运动； 所述第二驱动机构上设置有推动部，所述第二驱动机构驱动所述推动部推动所述顶升部相对所述基座运动； 所述第一驱动机构包括： 定位板，所述第二驱动机构与所述定位板相连接； 第一支撑轴，所述第一支撑轴的两端分别连接所述定位板和所述基座；所述第一支撑轴为空心轴，所述第一支撑轴内部设有加热器，所述加热器能加热所述基座； 第一驱动部，设置于所述安装座上，所述第一驱动部与所述定位板相连接，所述第一驱动部驱动所述定位板相对所述安装座运动； 所述推动部位于所述基座和所述定位板之间，所述第二驱动机构包括： 第二支撑轴，与所述推动部相连接； 第二驱动部，设置于所述定位板上，所述第二驱动部与所述第二支撑轴相连接，所述第二驱动部驱动所述推动部相对所述定位板运动； 所述第二支撑轴上设置有导向键，所述载板升降装置还包括： 定位座，设置于所述定位板上，所述定位座上设置有键槽，所述导向键在所述键槽内滑动； 第一波纹管，所述第一波纹管的两端分别连接所述定位板和所述安装座，所述第一波纹管位于所述第二驱动机构的周侧； 第二波纹管，所述第二波纹管的两端分别连接所述定位板和所述推动部，所述第二波纹管位于所述第一波纹管和所述第二支撑轴之间； 所述定位板上与所述第一支撑轴对应的位置上设置有定位通孔，所述定位通孔内穿设有密封头，所述密封头与所述加热器相连接，在所述定位通孔和所述密封头之间设置有密封圈，并在所述密封通孔的孔口处设置有密封螺母。

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