三星显示有限公司姜勳获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利可光聚合的树脂组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111599666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010106629.X,技术领域涉及:H01L21/033;该发明授权可光聚合的树脂组合物是由姜勳;梁容薰;郑壤镐;崔善华设计研发完成,并于2020-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本可光聚合的树脂组合物在说明书摘要公布了:提供一种可光聚合的树脂组合物,所述可光聚合的树脂组合物包括第一层和第二层以及设置在第一层与第二层之间的阻挡层,阻挡层包括SiNx、SiOx、SiON、Mo、Mo氧化物、Cu、Cu氧化物、Al、Al氧化物、Ag和Ag氧化物中的一种或更多种。
本发明授权可光聚合的树脂组合物在权利要求书中公布了:1.一种多层的光致抗蚀剂,所述多层的光致抗蚀剂包括: 第一层; 第二层;以及 阻挡层,设置在所述第一层与所述第二层之间, 其中,所述第一层和所述第二层均是光致抗蚀剂层, 其中,所述阻挡层包括SiNx、SiOx、SiON、Mo、Mo氧化物、Cu、Cu氧化物、Al、Al氧化物、Ag和Ag氧化物中的一种或更多种,并且 所述阻挡层的蚀刻速率介于所述第一层的蚀刻速率与所述第二层的蚀刻速率之间。
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