拓荆科技(上海)有限公司杨辰烨获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利射频电路的连接件、射频电极组件及半导体器件加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223427912U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422497328.0,技术领域涉及:H01R31/06;该实用新型射频电路的连接件、射频电极组件及半导体器件加工设备是由杨辰烨设计研发完成,并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频电路的连接件、射频电极组件及半导体器件加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种射频电路的连接件、一种射频电极组件及一种半导体器件加工设备。所述射频电路的连接件,由导电材料制成。所述连接件包括第一连接端、第二连接端及形变部。所述第一连接端固定连接半导体器件加工设备的加热盘。所述第二连接端固定连接交流滤波器。所述形变部位于所述第一连接端和所述第二连接端之间,以向所述加热盘导入射频能量。所述形变部与所述第一连接端及所述第二连接端中至少一者的夹角为锐角。本实用新型可以用于更好地隔离由加热单元和或射频能量产生的热量,并吸收由该热量导致的热膨胀所产生的交变应力,以降低射频电路中交变应力导致的疲劳断裂的风险,从而延长连接件的工作寿命。
本实用新型射频电路的连接件、射频电极组件及半导体器件加工设备在权利要求书中公布了:1.一种射频电路的连接件,由导电材料制成,其特征在于,所述连接件包括: 第一连接端,固定连接半导体器件加工设备的加热盘; 第二连接端,固定连接交流滤波器;以及 形变部,位于所述第一连接端和所述第二连接端之间,以向所述加热盘导入射频能量,其中,所述形变部与所述第一连接端及所述第二连接端中至少一者的夹角为锐角。
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