江苏鲁汶仪器股份有限公司谭龙瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利半导体加工设备及其微波源反射自动调节系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427753U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422981344.7，技术领域涉及：H01P11/00；该实用新型半导体加工设备及其微波源反射自动调节系统是由谭龙瑞;庄佳伟;卢浩;许开东设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体加工设备及其微波源反射自动调节系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体微波源反射自动调节系统，包括波导销钉、驱动装置、驱动控制器、通讯模块和电源模块，波导销钉连接于微波传输波导内；驱动装置的动力输出端驱动波导销钉沿轴线运动，用于改变波导销钉深入微波传输波导的长度；驱动控制器与上位机和驱动装置通信连接，用于根据波导销钉的位移量反馈控制驱动装置的转动；通讯模块用于实现驱动控制器与上位机的信息交互；电源模块，用于为驱动装置和驱动控制器提供电力。本实用新型的半导体微波源反射自动调节系统，能实现波导销钉的自动调节反射，调节精度高，调节效率高。本实用新型还公开了一种半导体加工设备。
本实用新型半导体加工设备及其微波源反射自动调节系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体微波源反射自动调节系统，其特征在于，包括： 波导销钉，连接于微波传输波导内； 驱动装置，动力输出端驱动所述波导销钉沿轴线运动，用于改变所述波导销钉深入所述微波传输波导的长度； 驱动控制器，与上位机和所述驱动装置通信连接，用于根据所述波导销钉的位移量反馈控制所述驱动装置的转动； 通讯模块，与所述驱动控制器与上位机通信连接，用于实现所述驱动控制器与上位机的信息交互； 电源模块，与所述驱动装置和所述驱动控制器电连接，用于为所述驱动装置和所述驱动控制器提供电力。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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