荣芯半导体(淮安)有限公司肖莉红获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(淮安)有限公司申请的专利一种光刻对准标记结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427502U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422084551.2，技术领域涉及：H01L23/544；该实用新型一种光刻对准标记结构是由肖莉红;司伟设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻对准标记结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光刻对准标记结构，包括衬底、位于所述衬底上的介电质层、位于所述介电质层内的光刻对准标记，且所述光刻对准标记内形成有凹槽。与现有技术中在依次位于衬底与自对准硅化物上的介电质层中形成光刻对准标记相比，本实用新型将光刻对准标记形成于位于衬底上的介电质层中，能够提高光刻对准标记的清晰度，从而提高光学对位精度及套刻精度。
本实用新型一种光刻对准标记结构在权利要求书中公布了：1.一种光刻对准标记结构，其特征在于，包括：衬底、位于所述衬底上的介电质层、位于所述介电质层内的第三深沟槽以及形成于所述第三深沟槽内的光刻对准标记，其中所述第三深沟槽的深度等于所述介电质层中用于形成第一金属插塞的第一深沟槽的深度，且所述第三深沟槽的截面尺寸大于所述第一深沟槽的截面尺寸，所述光刻对准标记具有两个上表面，第一上表面与所述介电质层齐平，第二上表面低于所述第一上表面，使得所述光刻对准标记内形成有凹槽。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(淮安)有限公司，其通讯地址为：223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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