珠海市威兆半导体有限公司梁万通获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市威兆半导体有限公司申请的专利一种可调晶圆夹具及解胶机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223427481U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422671145.6,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种可调晶圆夹具及解胶机是由梁万通设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调晶圆夹具及解胶机在说明书摘要公布了:本实用新型属于解胶机技术领域,具体公开了一种可调晶圆夹具及解胶机,包括基座、第一晶圆吸盘、第二晶圆吸盘、第一晶圆定位器和第二晶圆定位器,第一晶圆吸盘和第二晶圆吸盘具有不同的尺寸,从而能够灵活适应不同的晶圆尺寸;本实用新型通过定位螺栓孔和定位通孔,使用螺栓即可方便地完成拆装,并且连接稳固;同时晶圆定位器能够进一步辅助晶圆实现精确定位,使本可调晶圆夹具及解胶机能够适应不同尺寸晶圆并且实现稳固安装。
本实用新型一种可调晶圆夹具及解胶机在权利要求书中公布了:1.一种可调晶圆夹具,其特征在于,包括基座1、第一晶圆吸盘2、第二晶圆吸盘3、第一晶圆定位器22和第二晶圆定位器32;所述第一晶圆定位器22与所述第二晶圆定位器32的大小不同;所述基座1上侧设置多个第一定位螺栓孔11和多个第二定位螺栓孔12,用于将所述第一晶圆吸盘2和所述第二晶圆吸盘3分别通过所述第一定位通孔21和所述第二定位通孔31固定在所述基座1上;所述第一晶圆定位器22两端设置安装孔,用于安装在所述第一晶圆吸盘2的相邻两第一定位通孔21上,所述第二晶圆定位器32两端设置安装孔,用于安装在所述第二晶圆吸盘3的相邻两第二定位通孔31上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海市威兆半导体有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金园二路333号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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