无锡富创得智能科技有限公司冯跃跃获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得智能科技有限公司申请的专利一种晶圆寻边器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427478U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422829878.8，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆寻边器是由冯跃跃;周锐;沈一;郝铭芯设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆寻边器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是指一种晶圆寻边器，包括寻边平台、三轴移动机构、连接于三轴移动机构输出端的吸附转盘及采集设备，所述吸附转盘用于吸附待测晶圆；当待测晶圆被吸附于所述吸附转盘，所述采集设备采集待测晶圆轮廓并获取待测晶圆中心位置，所述三轴移动机构带动吸附转盘移动，使得待测晶圆的中心与目标位置对准；本实用新型使得待测晶圆尺寸不同时均能够保障自身中心对准目标位置，提升待测晶圆的寻边精度，能满足多尺寸的待测晶圆寻边，定位准确，兼容性强，降低使用成本。
本实用新型一种晶圆寻边器在权利要求书中公布了：1.一种晶圆寻边器，其特征在于，包括寻边平台1、三轴移动机构2、连接于三轴移动机构2输出端的吸附转盘3及采集设备4，所述吸附转盘3用于吸附待测晶圆； 当待测晶圆被吸附于所述吸附转盘3，所述采集设备4采集待测晶圆轮廓并获取待测晶圆中心位置，所述三轴移动机构2带动吸附转盘3移动，使得待测晶圆的中心与目标位置对准。
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