迈为技术(珠海)有限公司嵩佰亮获国家专利权
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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利晶圆定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427477U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422763467.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆定位装置是由嵩佰亮;马林;雷越森;梁惠宁;陈万群;王正根设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆定位装置，属于半导体加工设备的技术领域，晶圆定位装置包括基座、滑座、直线电机，以及相机组件；所述滑座滑设于所述基座；所述滑座设有液冷通道，所述液冷通道具有进液口和出液口，所述直线电机安装于所述基座；所述直线电机的输出端与所述滑座传动连接，所述相机组件安装于所述滑座。本实用新型的晶圆定位装置可以降低因电机温度升高对滑座和相机组件的影响，保证滑座和相机组件的运动精度，从而避免晶圆的定位出现误差。
本实用新型晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位装置，其特征在于，包括： 基座11； 滑座12，滑设于所述基座11；所述滑座12设有液冷通道123，所述液冷通道123具有进液口1234和出液口1235； 直线电机13，安装于所述基座11；所述直线电机13的输出端与所述滑座12传动连接； 以及 相机组件14，安装于所述滑座12。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迈为技术(珠海)有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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