纳设智能装备(江苏)有限公司刘亮辉获国家专利权
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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427476U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422594345.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备是由刘亮辉;许崇毅;肖蕴章;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备。该晶圆托盘对中装置包括真空腔室、第一定位推杆、第二定位推杆和第三定位推杆，真空腔室内设置有支撑晶圆托盘的支撑架，第一定位推杆、第二定位推杆和第三定位推杆延伸至真空腔室内，第一定位推杆受驱于第一驱动部而能够朝靠近或背离晶圆托盘的方向运动，第二定位推杆受驱于第二驱动部而能够朝靠近或背离晶圆托盘的方向运动，第三定位推杆受驱于第三驱动部而能够朝靠近或背离晶圆托盘的方向运动，第一定位推杆、第二定位推杆和第三定位推杆围绕晶圆托盘周向设置。该晶圆生产设备包括上述晶圆托盘对中装置。本实用新型有利于在真空环境中实现对晶圆托盘的对中。
本实用新型晶圆托盘对中装置及晶圆生产设备在权利要求书中公布了：1.晶圆托盘对中装置，其特征在于，包括： 真空腔室，所述真空腔室内设置有支撑架，所述支撑架用于支撑晶圆托盘； 第一定位推杆，所述第一定位推杆延伸至所述真空腔室内，所述第一定位推杆受驱于第一驱动部而能够朝靠近或者背离所述晶圆托盘的方向运动； 第二定位推杆，所述第二定位推杆延伸至所述真空腔室内，所述第二定位推杆受驱于第二驱动部而能够朝靠近或者背离所述晶圆托盘的方向运动； 第三定位推杆，所述第三定位推杆延伸至所述真空腔室内，所述第三定位推杆受驱于第三驱动部而能够朝靠近或者背离所述晶圆托盘的方向运动； 其中，所述第一定位推杆、所述第二定位推杆和所述第三定位推杆围绕所述晶圆托盘周向设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人纳设智能装备(江苏)有限公司，其通讯地址为：226300 江苏省南通市通州区金新街道双福路126号半导体光电产业园N2栋1、4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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