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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种基板传送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427474U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422877058.6，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种基板传送系统是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板传送系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基板传送系统，联接在具有真空氛围的工艺腔室，包括加载腔体，其侧壁具有用于与所述工艺腔室联接的传送口，以连通所述加载腔体与所述工艺腔室并形成传送路径；手臂单元，设置于加载腔体内；一级传动单元，包括可沿传送路径运动的移动件；二级传动单元，包括第一传动件，与移动件连接，并随移动件同步移动；第一传动带，一端固定设置在加载腔体，另一端经过第一传动件固定设置于基部；第一传动件随移动件同步移动，第一传动件带动第一传动带拖拽基部沿传送路径与移动件产生相对位移，将基板传送至工艺腔室。本实用新型能够在有限的空间内放大真空机械手的行程，使真空机械手获得更长的触及度，从而到达距离更长的工位。

本实用新型一种基板传送系统在权利要求书中公布了：1.一种基板传送系统，联接在具有真空氛围的工艺腔室，其特征在于，包括： 加载腔体110，其侧壁具有用于与所述工艺腔室联接的传送口111，以连通所述加载腔体110与所述工艺腔室并形成传送路径900； 手臂单元200，沿传送路径900活动设置于所述加载腔体110内，包括基部220和手指部210，所述手指部210用于承载基板800； 一级传动单元300，设置在所述加载腔体110内，包括可沿传送路径900运动的移动件310； 二级传动单元400，包括： 第一传动件420，与所述移动件310连接，并随所述移动件310同步移动； 第一传动带411，一端固定设置在所述加载腔体110，另一端经过所述第一传动件420固定设置于所述基部220，且所述第一传动带411的至少一部分包覆在所述第一传动件420的外壁； 在工作状态中，将所述基板800放置在所述手指部210，驱动所述移动件310沿传送路径900从所述传送口111伸出，所述第一传动件420随所述移动件310同步移动，所述第一传动件420带动所述第一传动带411拖拽所述基部220沿传送路径900与所述移动件310产生相对位移，将所述基板800传送至所述工艺腔室。

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