深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司李淑桐获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利晶圆承载装置和湿法刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427472U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422628941.1，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆承载装置和湿法刻蚀设备是由李淑桐;张明瑞设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载装置和湿法刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆承载装置和湿法刻蚀设备，该晶圆承载装置包括输运装置和旋转装置，输运装置被配置为驱动晶圆移动，以将晶圆沿第一方向移入或移出刻蚀液，旋转装置包括装载组件和与装载组件连接的驱动机构，装载组件用于装载晶圆，驱动机构被配置为驱动装载组件绕沿第二方向延伸的预设轴线旋转，以带动晶圆在刻蚀液内旋转，第一方向和第二方向相交；其中，输运装置包括第一驱动装置和或第二驱动装置：第一驱动装置与旋转装置连接，第一驱动装置被配置为驱动旋转装置沿第一方向移动，第二驱动装置被配置为将晶圆沿第一方向装入装载组件中或由装载组件中取出。湿法刻蚀设备包括上述晶圆承载装置。
本实用新型晶圆承载装置和湿法刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括： 输运装置，被配置为驱动晶圆3移动，以将所述晶圆3沿第一方向移入或移出刻蚀液；和 旋转装置，包括装载组件2和与所述装载组件2连接的驱动机构，所述装载组件2用于装载所述晶圆3，所述驱动机构被配置为驱动所述装载组件2绕沿第二方向延伸的预设轴线旋转，以带动所述晶圆3在所述刻蚀液内旋转，所述第一方向和所述第二方向相交； 其中，所述输运装置包括第一驱动装置和或第二驱动装置：所述第一驱动装置与所述旋转装置连接，所述第一驱动装置被配置为驱动所述旋转装置沿所述第一方向移动，以将所述晶圆3沿所述第一方向移入或移出所述刻蚀液，所述第二驱动装置被配置为将所述晶圆3沿所述第一方向装入所述装载组件2中或由所述装载组件2中取出，以将所述晶圆3沿所述第一方向移入或移出所述刻蚀液。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励